真空磁控溅射镀膜机-杭州赛威斯真空技术-

真空球阀的维修

1、只有卸除球阀前后的压力，才能对球阀进行拆卸分解操作。

2、在对球阀的分解与再装配过程，需要对有密封性零部件的保护，特别是非金属零部件，像O型圈等部件较好使用**的工具。

3、球阀阀体重新装配时螺栓必须对称、逐步、均匀地拧紧。

4、清洗剂应与真空球阀中的橡胶件、塑料件、金属件及工作介质(例如燃气)等均相容。工作介质为燃气时，可用汽油(GB484-89)清洗金属零件。非金属零件用纯净水或酒精清洗。

5、分解下来的单个零件可以用浸洗方式清洗。尚留有未分解下来的非金属件的金属件可采用干转子泵净的细洁的浸渍有清洗剂的绸布(为避免纤维脱落粘附在零件上)擦洗。清洗时须去除一切粘附在壁面上的油脂、污垢、积胶、灰尘等。

6、非金属零件清洗后应立即从清洗剂中取出，不得长时间浸泡。

7、清洗后需待被洗壁面清洗剂挥发后(可用未浸清洗剂的绸布擦)进行装配，但不得长时间搁置，否则会生锈、被灰尘污染。

8、新零件在装配前也需清洗干净。

9、使用润滑脂润滑。润滑脂应与真空球阀金属材料、橡胶件、塑料件及工作介质均相容。工作介质为燃气时，可用例如特221润滑脂。在密封件安装槽的表面上涂一薄层润滑脂，在橡胶密封件上涂一薄层润滑脂，阀杆的密封面及摩擦面上涂一薄层润滑脂。

10、装配时应不允许有金属碎屑、纤维、油脂(规定使用的除外)灰尘及其它杂质、异物等污染、粘附或停留在零件表面上或进入内腔。

真空泵的清理及泵油的更换方法

一、放油

1、准备好**工具及纸巾置于真空泵位置；

2、关闭主泵球阀；

3、将废油桶置于真空泵放油口下方,打开上腔放油开关，取下泵尾气管；

4、堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快慢放油，废油倒入*废油桶；

5、放完油后关闭上、下腔放油阀，然后断开真空泵对应控制柜里的空气开关

6、在控制柜上挂上“禁止操作”牌。

注意事项

1、确认关闭主泵球阀是否关闭到位，否则会造成炉内倒吸气；

2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，致使油烟外泄扩散到泵房；

3、放完油后，切记关闭上、下腔的放油阀，防止漏油；

4、处理废油时注意泵房卫生；

5、一定要断开真空泵真空开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害。

二、清泵

1、用板手打开真空泵侧盖，置于适当位置；

2、用纸巾彻底清理真空泵腔内及侧盖的油污；

3、70泵下腔滤油网要用汽油进行清洗干净；

4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖；

注意事项

1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油；

2、70泵切记安装滤网，喷油管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态；

3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死；

4、清理真空泵的废弃物放入*垃圾桶。

三、注油

1、打开真空泵注油口；

2、将加油漏斗放入真空泵注油口；

3、用吸油枪从油桶给油壶开始注油到2/3，用油壶嘴对准漏斗，缓慢地给真空泵注油；

4、观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置；

5、取下漏斗，移至适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油；

6、装上尾气管，盖好注油口；

7、开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗1/3—1/2位置。若低于下限重复以上操作；