真空磁控溅射镀膜机,高真空热蒸发镀膜机,杭州赛威斯真空技术

真空镀膜系统主要构成

  1.真空室

涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式，不锈钢材料制造、氩弧焊接、表面进行化学抛光处理，真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。

  2.真空获得部分

在真空技术中，真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的，必须将几种泵联合使用，如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。

  3.真空测量部分

真空系统的真空测量部分，就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样，没有一种真空计能测量整个真空范围，人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。如热偶计，电离计，皮拉尼计等等。

  4.电源供给部分

靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(RF)，常见的电源厂商有AE,ADL,霍廷格等

  5.工艺气体输入系统

工艺气体，如氩气(Ar)、氪气(Kr)、氮气(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氢气(H2)、氧气(O2)等，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是，管路简捷、明快，维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况，这种情况在一些规模较大的涂层车间可能**会看到。它的好处是，减少气瓶占用量，统一规划、统一布局。缺点是，由于接头增多，使漏气机会增加。而且，各涂层机之间会互相干扰，一台涂层机的管路漏气，有可能会影响到其他涂层机的产品质量。此外，更换气瓶时，必须保证所**台都处于非用气状态。

分子增压泵是目**兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。

罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵，分子增压泵有较高的压缩比，这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能，同时在中真空范围也有**强的抽气能力。这就使分子增压泵成为目**兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。具体地讲由于分子增压泵耐压高，所以可使前级泵易于处于高流量状态；而分子增压泵吸入压力高，减缓了前级泵的预抽负担。分子增压泵可以在100-50Pa工作，前级泵从大气到这一压力，基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律，因此，机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组，取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整个排气过程相比很短，所以前级泵的使用时间也很短，因此可以兼作多套设备的预抽作用，而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。

在某些中真空应用中，需要进入10-1Pa范围，这对罗茨泵的二级机组往往难于实现，而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa，所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速，所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲，长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵，分子增压泵可以完全取代。而长时间工作在中真空高端压力范围的罗茨泵相对而言应该较少，因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。

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